近日，市場監(jiān)管總局批準(zhǔn)建立平面結(jié)構(gòu)納米線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（[2024]國標(biāo)物證字第5975號(hào)）和立體結(jié)構(gòu)納米線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（[2024]國標(biāo)物證字第5976號(hào)），打通極小納米線寬量值向硅晶格常數(shù)溯源的計(jì)量途徑，成為我國集成電路晶體管柵極線寬溯源最精準(zhǔn)“標(biāo)尺”，支撐集成電路制造向極微觀尺度邁進(jìn)，提升集成電路芯片集成度和性能先進(jìn)制造水平，有力促進(jìn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

      納米線寬作為集成電路的關(guān)鍵尺寸，指晶體管柵極的最小線寬（柵寬），是描述集成電路工藝先進(jìn)程度的一個(gè)重要指標(biāo)，其量值的準(zhǔn)確性將極大影響電流、電阻等電特性參數(shù)等芯片器件的性能指標(biāo)。有研究表明，當(dāng)集成電路線寬節(jié)點(diǎn)達(dá)到32nm以下時(shí)，線寬量值10%的誤差將導(dǎo)致芯片器件失效。當(dāng)前集成電路先進(jìn)的工藝制程節(jié)點(diǎn)要求線寬達(dá)到原子級(jí)準(zhǔn)確度，通常采用線寬標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)對關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備進(jìn)行計(jì)量溯源，以確保關(guān)鍵尺寸設(shè)計(jì)加工的準(zhǔn)確性。隨著集成電路工藝制程節(jié)點(diǎn)的不斷縮小，芯片的晶體管密度增加和性能提升得益于晶體管柵極寬度的不斷減少。